Communication Dans Un Congrès
Année : 2022
Stéphanie Bonnefoy : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://uca.hal.science/hal-04066079
Soumis le : mercredi 12 avril 2023-13:19:37
Dernière modification le : mardi 11 juin 2024-15:18:32
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04066079 , version 1
Citer
H. Beji, G. Monier, L. Bideux, P. Hoggan, A. Bousquet, et al.. AR-XPS modeling of SiNx ultrathin layers grown on Si(100)by N2 plasma treatment.. European Conference on Surface Science, ECOSS 35, Aug 2022, Luxembourg, Luxembourg. ⟨hal-04066079⟩
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